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安徽谱纯气体科技有限公司

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安徽谱纯气体科技有限公司成立于2016年,主要经营各种高纯稀有气体,电子气,气体,标准气,电光源混合气等;另外为广大客户提供用气咨询,超净气体管道设计方案,特种气体气瓶柜(含自动报警),容器,减压器,阀门仪表,充装设备选型和安装服务等;我司由气体**组成,在气体纯化(低温精馏),气体分析技术,气体生......

高纯四氟化碳-四氟化碳-安徽谱纯|品种齐全

产品编号:100124428132                    更新时间:2025-12-31
价格: 来电议定
安徽谱纯气体科技有限公司

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  • 主营业务:气体,特种气体
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四氟化碳的溶氧性很好,四氟化碳厂家,因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。目前已在老鼠身上获得成功,在275米到366米的深度内,小白鼠仍可安全脱险。四氟化碳有时会用作低温冷却剂。它可用于电路板的制造,以及制造绝缘物质和半导体。它是用作气体蚀刻剂及等离子体蚀刻版。对于硅和二氧化硅体系,采用CF4-H2反应离子刻蚀时,通过调节两种气体的比例,可以获得45:1的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。





对于硅和二氧化硅体系,四氟化碳,采用CF4-O2反应离子刻蚀时,高纯四氟化碳,通过调节两种气体的比例,可以获得45:1的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。四氟化碳在不同的大气压下呈现的状态是不同的,四氟化碳批发,就像氧气在101kPa时会呈现出液态。四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体,发挥性较高.预先称取5~10g的碳化硅粉末和0.1g的单质硅粉,置于镍盘中,使硅和碳化硅充分接触后,将镍盘放入蒙乃尔合金反应管中,向反应管内通入氟气,氟气先和单质硅反应。





四氟化碳的用途与作用 :

 四氟化碳是可作为氟和自由基氟化碳的来源,用于各种晶片蚀刻工艺。四氟化碳和氧结合用以蚀刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。四氟化碳在通常环境下是相对惰性的,在不通风的地方会引起窒息。在射频等离子体环境中,氟自由基表现为典型的三氟化碳或二氟化碳的形式。高纯度的四氟化碳能很好的控制加工过程,使尺寸和形状得到更好的控制,这不同于其他的卤烃遇到空气或氧气时不利于各种特殊的控制(如半导体各项异性控制)。





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