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分子泵的清洗：
一般来讲，如果说前级泵没有问题，而真空在固定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气（排除其他的漏气）、或着解吸附作用降低，说明真空泵已经有点脏了，需要进行清洗，这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗，如果太脏的话，就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下:
1.关掉分子泵，进行排气
2.从机器上拆下分子泵，普发进口分子泵控制器维修费用，注意不要碰到接口的边缘部分。
3.拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等
4.拆掉润滑的油包
5.将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个合适的容器中
广州潽拓光电科技有限公司 德国PFEIFFER普发分子泵维修图
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类型:气体传输泵 品牌:普发
型号:HiPace400C 材质:不锈钢
用途:化工泵 原理:真空泵
真空度:超高真空度 驱动方式:电动
性能:变频 输送介质:清水泵
功率:0.2kw 极限压力:10-8pa
外形尺寸:108X108 泵轴位置:边立式
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