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  对于高真空/超高真空系统，当系统内的压力低于10-6毫巴以后，系统内氢气占的比例越来越大，而此时氢气的返流也越来越明显，因此此时分子泵的有效抽速已经与产品说明书给出的参数相差很大了。分子泵对氢气的压缩比越大，安捷伦涡轮分子泵维修，分子泵对氢气的实际有效抽速就越大；反之，则实际有效抽速已经所剩无几。

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Agilent SH-110全密封干式涡旋泵具有业内的真空获得性能，安捷伦涡轮分子泵报价，结构紧凑，能够轻易地实现与现有、生产设备的真空系统相集成。此型号单级涡旋泵具有110升1分钟的抽速(60Hz电源条件下)，可获得50mTorr(约67Pa)的极限真空，即使单独作为粗真空获得设备也是理想的选择。SH-110涡旋泵符合CE、CSA以及Semi S2-0200等多种标准。

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