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薄膜晶体管（TFT）是平板显示器制造行业的技术，其价值相当于硅芯片对计算机行业的影响。

在20世纪60年代发明液晶显示技术的初期，使用简单的X-Y电极寻址方式对液晶显示器像素进行寻址，显示图像存在大量的串扰，即一个像素会被邻近像素的变化所干扰；后来提出了在每一个X-Y电极的交叉点设计一个具有开关作用的TFT薄膜晶体管和一个电容，用电容来存储和保持施加在该像素液晶上的电压。

Z早都是使用CdSe作为 TFT的有源层，1980年前后开始研究使用非晶硅材料做有源层的TFT特性。相比纯非晶硅，氢化非晶硅（a-Si：H）能通过施主和受主掺杂来分别形成N型和P型半导体材料，氢能钝化在非晶硅散乱网格中的由位于禁带中的大量悬挂键引起的缺陷态，钝化过程使得非晶硅具有类似晶体硅的特性。

尽管CdSe比a-Si：H的迁移率更高，但它是一种多晶态化合物半导体，它的特性受晶粒尺寸、晶界界面态和化学计量比等因素影响，仪器显示模块批发，且对周围的水汽和氧气敏感。a-Si：H无晶界、通过氢的钝化作用既不改变本体特性，家电显示模块改造，又提高了其电学特性。a-Si：H TFT由于具有优良的电学特性、可在玻璃基板上制作，能部分集成周边驱动电路等特点，目前已经是应用Z广、工艺Z稳定、适合于批量生产的TFT技术。

氢化非晶硅薄膜晶体管根据有源层、栅极和漏极的位置可以划分为交错型、共面性、反交错型和面型。

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面板产业主要是指用于电视、笔记本、台式电脑和手机等电子设备的触控显示面板产业。当今时代已经是信息的时代，信息显示技术在人们社会活动和日常生活中的作用日益剧增，人类信息的获取80%来自视觉，各种信息系统终端设备与人之间的交互都需要通过信息显示来实现。面板产业已经成为了光电产业的，深圳显示模块，在信息产业中仅次于微电子行业，成为了Z重要的产业之一。

显示面板产品主要有液晶面板（TFT）、等离子面板（PDP）和有机发光二极管面板（OLED）

源、漏电极（S/D）、数据电极和沟道（Channel）形成

具体包括：S/D 金属层溅射成膜，S/D 光刻，S/D 湿刻，沟道干刻等工艺制程。经过这些工艺，终在玻璃基板上形成TFT 的源、漏电极、沟道及数据线。到此，TFT 已制作完成。

保护绝缘层（Passivition）及过孔（Via）形成

具体包括：PECVD 成膜，光刻，仪器显示模块哪家好，过孔干刻等工艺制程（各工艺制程的具体介绍在随后的章节中给出）。经过这些工艺，终在玻璃基板上形成 TFT 沟道保护绝缘层及导通过孔。

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TN面板是一种常用的液晶面板，TN扭曲向列型液晶，其液晶板两端在加电压和不加电压时，液晶分子可以发生90°的扭转。利用TN液晶制造的液晶显示屏称为TN型液晶屏。实际上TN型液晶屏可以分为采用静态驱动或无源驱动，主要用于显示字符及简单图像的TN型笔段式、字符式及点阵式液晶显示屏，以及采用有源矩阵驱动方式（TFT薄膜场效应管）驱动的TN显示屏，也即我们通常所说的普通TFT液晶显示屏。一般来说，在没有特指的情况下，所说到的TN型液晶显示屏，是指采用静态驱动或无源驱动的笔段式、字符式及点阵式液晶显示屏，这类液晶屏多为黑白显示液晶屏。

TFT-LCD主要的三段制程

①前段Array

前段部分的Array 制程和半导体制程相似，但是不同的是将薄膜电晶体制作在玻璃之上，而不是矽晶圆上面。

②中段Cell

中段部分的Cell ，是以前段的Array玻璃作为基板，和彩色的滤光片玻璃基板相结合，并且在两片玻璃基板之间灌入液晶(LC)。

③后段Module Assembly (模组组装)

后段模组的组装制程则是将Cell制程之后的玻璃和其他的如电路、外框、背光板等等多种零组件组装生产的作业。

液晶显示屏的构造就如同三明治一样，将液晶夹杂在两片玻璃基板之间，这两片玻璃基板呢，就是TFT Array玻璃和彩色的滤光片。 在TFT Array玻璃的上面有着无数的画素(pixel)排列着，而彩色的滤光片则是画面颜色的重要来源，液晶呢便夹杂在TFT Array以及彩色的滤光片之间。 当电压在TFT(晶体管)的时候，液晶转向，那么光线便穿过了液晶在面板上面产生了一个画素，而此光源呢，则是由背光模块所负责提供的。

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