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广州潽拓光电科技有限公司——普发进口泵Pfeiffer 普发涡轮分子泵维护

   真空泵的传动方式：

      真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。Pfeiffer 普发涡轮分子泵维护

Pfeiffer 普发涡轮分子泵 SplitFlow 优点

紧凑设计， 占地空间小

对所有气体的高抽吸能力和更高压缩比

集成分子泵控制器

防护类型 IP 54 适合于工业用途

准 S2 和 UL/CSA 认证

运行数据监控保证分子泵运行安全性

电机烧坏

主要为电机定子线圈烧毁，引起原因较多，如瞬间电流过大，电机轴承使用久了被磨损，致使轴承摩擦阻力变大，电机功率加大，引起温度上升，烧毁电机。这时应先检查电机轴承，再检查电机线圈。轴承损坏就更换轴承；电机线圈烧毁则应维修电机，普发进口泵技术服务，重新绕制定子线圈。轴承和线圈损坏严重时，就需更换电机了。Pfeiffer 普发涡轮分子泵维护

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广州潽拓光电科技有限公司——普发进口泵普发真空涡轮分子泵

Pfeiffer MVP 010-3 DC

产品优势

1.干燥、无油的真空环境

2.膜片的使用寿命长

3.低振动，低噪音

4.操作安全系数高

5.通过简易的隔膜和更换阀门实现简易的维护

6.通过双电压电机或直流驱动适用于的范围

旋片泵油主要起到密封，普发进口泵售后服务， 润滑阀门和轴承以及对泵体冷却的作用， 建议每 12 个月更换一次泵油. 可以通过油视镜定期对泵油的颜色， 污染物， 油位进行观察. 油位建议在 1/3 -1/2 之间， 油过多会导致油外流， 过少会导致旋片泵温度过高， 易损坏. 如果泵油的颜色达到了第 5 种颜色（从左边数）， 泵油变浑浊， 必须立即更换.

抽速是分子泵的关键主要参数，提升 转速比是增加抽速更为立即的方式之一，伴随着转子动平衡技术性的发展趋势，分子泵转子可顺利地在超高速旋转下平稳运行。伴随着管理科学的发展趋势，分子泵转子原材料也发生了转变，普发进口泵维修，能用硬铝合金型材、碳纤维材料、铝合金等高韧性原材料做成，这使转子的转速比获得进一步提高。

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单级双吸泵真空泵和普通的水泵作用一样，其特点是把旋转水环当做活塞来改变泵腔的容积，以达到吸气、压缩和排气的目的。它的零部件包括转子叶轮、泵壳、端板、阀片、轴承、进排气口、进口单向阀、轴端密封等。通常情况下，轴端是密封的，是利用带水封环的填料进行密封处理的，其中密封水是通过端板上的孔道导入导水封环位置的。哪里有修真空泵的

PFEIFFER TMH071 P涡轮分子泵大量用于PFEIFFER、Agilent（VARIAN）、 Ulvac、INFICON、VST、ABI、SHIMADZU等分析设备及氦检仪中分析仪器如氦质谱检漏仪，及小型分子泵组中。德国普发PFEIFFER TMH071 P分子泵进气法兰口DN63 ISO-KF/DN63 CF-F，出气法兰口DN16ISO-KF，黄埔区普发进口泵，抽速可达到60L/s， 转速为90000rpm，极限真空＜1*10E8mBAR; 对应的控制器为PFEIFFER TC600.

当今，现代化的半导体行业中，越来越多地应用涡轮分子泵。如溅射、刻蚀、蒸发、注入、分子束外延、离子加工等设备都需要在真空环境下运行。又如电子显微镜，表面分析仪器，残余气体分析仪及氦质谱检漏仪等也经常使用涡轮分子泵来抽真空。此外，在宇宙模拟设备、核聚变装置、太阳能集热管镀膜生产线上也都改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统，以防止油蒸汽的污染。因此，z近十几年来，涡轮分子泵，在国内、外都得到了显着的改进和发展。在涡轮分子泵的应用日益增加干式的前级泵还没有大量普及和应用的情况下，有时还不得不用油封机械泵来作涡轮分子泵的前级泵。因此，针对这种现状，对涡轮分子泵的合理选用和正确操作是很重要的。

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