微焦点X射线
EFPscan平面CT（又称plane CT），是面向PCB板和电子器件的CT检测系统，具有2D/2.5D/3D X-ray功能，可以离线检测和在线全检。 采用了的Computed laminography (CL)扫描模式和算法，具备高速扫描获得清晰断层图像的能力。
扫描速度快
具备可编程的自动识别判断功能
可与产线配合，实现在线检测
PCB板、BGA、CSP、QFP、QFN
功率器件IGBT
开焊、无浸润、气孔、偏移
热阻电性规格：
加热电流测量精度（低电流测量: 0.2， 1 和2 安培测量）
2A 系统: ±1mA 10A 系统: ±5mA 20A 系统: (±10mA)
加热电流测量精度（高电流测量: 2， 10 和20 安培测量）:
2A 系统: ±4mA 10A 系统: ±20mA 20A 系统: (±40mA)
加热电压测量精度: ±0.25% ，0~30V
热电偶测量精度(T 型): 典型 ±0.1°C
交流电压：220VAC，设备失效分析，10A，50/60Hz
器件的测试的供电电压： 20V（标配），其他的是选配。
器件的测试的供电电流： 30A(标配)，选配（100A 200A，400A，800A，1000A及更高电流）
节温的感应电流：1mA， 5mA，失效分析仪器， 10mA，失效分析， 20mA，元器件失效分析， 50mA(标配)，100mA，500mA，1000mA，2500mA是选配。
数据采样频率1MHz
结温精度±0.1°C 分辨率：±0.007°C。
微焦点技术的优势
1、 通过使被透照物体靠近射线源，远离胶片，获得放大的原始细节图像。减轻检测疲劳。
2、 对于一定厚度的被透照物体，微焦点可以放大被检测物的细节提供更一致的清晰度。
微焦点x射线设备具备图像放大，提高空间分辨力，减少散射的能力，从而使它成为工业CT系统的理想射线源。
X-RAY WorX GmbH是德国高科技研发型公司，研发了具有超高灵活性、超高稳定性、超高精度的开放式微焦点X射线管，分为透射式微焦点X射线管、反射式微焦点X射线管、头X射线管和棒阳极微焦点X射线管。可根据不同的应用，选择不同的靶功率（10W、15W、25W、50W、300W等）和电压（65W、100kV、160kV、190kV、225kV、240kV和300kV等）。
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