检漏设备：质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。氦质谱检漏主要领域：航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等；仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等。
实验程序中明确规定了密封继电器的检漏条件及步骤，本次主要讨论背压法检漏属于检漏步骤中的细检漏。继电器的背压检漏法一般分为三步: 1加氦压:将被检继电器放入充氦的压力罐中; 2净化:从压力罐中取出继电器，电力行业检漏厂商，用氮气流或者空气流吹净继电器表面吸附的氦气。3检漏:将继电器放入检漏仪的检漏盒中进行检测，若继电器有漏，压入内腔的氦气会经过漏孔进入检漏仪，仪器上会有漏率显示。
检漏步骤为:若步骤1和2均未检出漏点，就要考虑各个真空泵性能的问题，首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少，如果泵油缺少会大大降低泵的抽气性能，其次检查机械泵的阀片，通过向机械泵排气口喷吹氦气来检测其阀片的密封性。扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成极限压不合格。还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。
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