通常我们可以对同一个标准样品连续测量50次，考察各个元素的RSD相对标准偏差来考证一个设备的性能。如果光谱仪的硬件技术不过关，仪器的稳定性是没法保证的。设备的灵敏度，也就是检测下限。通常很多厂家吹嘘仪器的检出限可以达到1ppm，这其实都是销售人员的吹嘘。客户可以跟进自己手里的实际样品来检测设备在检测低含量样品时候的表现。比如可以测试塑料里面50ppm的Cl氯元素。
经典光谱仪器是建立在空间色散原理上的仪器；新型光谱仪器是建立在调制原理上的仪器。经典光谱仪器都是狭缝光谱仪器。调制光谱仪是非空间分光的，它采用圆孔进光。根据色散组件的分光原理，光谱仪器可分为：棱镜光谱仪，衍射光栅光谱仪和干涉光谱仪。光学多道分析仪OMA (Optical Multi-channel Analyzer)是近十几年出现的采用光子探测器(CCD)和计算机控制的新型光谱分析仪器，它集信息采集，处理，存储诸功能于一体。
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