




流量控制器在高压条件下如何使用?
质量流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点: 一, 是要选择耐压符合要求的MFC; 二, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 三, 要在MFC气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在MFC下游加背压阀, 稳定反应室和MFC出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点, MFC就能够在高压条件下稳定工作。
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质量流量计如何工作的
热式气体质量流量计件由两个插入流体管道中的圆柱形探头构成。被加热探头里面含有一个加热器,在靠近壁面附近布置一个温差热电偶并用导热系数与密度之比较大的石墨填充。探头内布置一个热电偶并用石墨填充。为更好的进行动态测量,超声波流量计公司,所用热电偶均采用直径为0.1mmK型的NiCr-NiSi.。系统热平衡分析当流量传感器被置于流体管道中,在流态稳定时,探头与周围介质处于近似的热平衡状态,这时流体、探头、测量杆和管道组成一个传热系统,此时的系统热平衡方程为:传感器世界2007.9.静态变化函数曲线气流方向阀门待标定流量计。标定方案示意图。标定曲线利用传热学理论,结合热式流量计应用的工况场合,对于实际的热交换过程有: 1、热探头与流体间的对流换热对流换热a包括受迫对流换热和自然对流换热。假设流管横置,热探头壁面与流体温差为60*C,则当流体流速大于1m/s时,涡轮流量计公司,G/e2<0.1,此时自然对流换热与由于流体运动所导致的受迫对流换热相比十分微弱。实际测量中G/2<<1,可以忽略自然对流换热的影响。 2、热探头向测量杆构架的导热02随着构架材料导热系数的不同,02差别很大。在探头设计中,尽可能采用导热系数小的材料制造构架并采用绝热、绝缘硅胶对探头密封以减少导热量。导热量02计算公式如下:,电磁流量计公司,dt A一杆构架的横截面积;A―杆构架导热系数。 3、热式气体质量流量计热探头向周围的辐射换热03热探头表面温度为,它要向气流和另一个探头进行辐射换热。将探头表面磨光或镀上一层发射率小的金属并使其温度保持在100*C之内,以减小辐射换热。根据辐射换热公式:一斯特藩一波尔兹曼常数;4一探头外表面面积;一热探头温度;T:来流温度。

如何提高流量控制器的准确度?
提高气体质量流量控制器实用准确度的措施为:
1.针对气体质量流量控制器的实际工艺参数,对该流量计进行“个性化标准”,从而实现在实际使用流量点的一定范围内,该气体质量流量控制器的实际测量误差(与标准值的差)趋于零。
2.把好气体质量流量控制器的安装环节,减少或消除机械应力、机械扭力和机械振动等对该流量计使用的影响。
3.考虑工艺压力、温度等对气体质量流量控制器测量准确度的影响。
4.把好气体质量流量控制器的投用关。
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