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湿度传感器
湿度传感器原理:
湿度传器湿敏元件主要电阻式、电容式两类。
湿敏电阻:基片上覆盖一层用感湿材料制成的膜，当空气中的水蒸气吸附在感湿膜上时，066022065上汽大通进气温度传感器品质，元件的电阻率和电阻值都发生变化，利用这一特性即可测量湿度。
湿敏电容:用高分子薄膜电容制成的，常用的高分子材料有聚、聚酰、酪酸醋酸纤维等。当环境湿度发生改变时，湿敏电容的介电常数发生变化，使其电容量也发生变化，066022065上汽大通进气温度传感器原厂，其电容变化量与相对湿度成正比。
是电子束微影中常用的正阻剂，是由单体酸甲酯(methyl methacrylate，丽水066022065上汽大通进气温度传感器， MMA)经聚合反应而成。用在电子阻剂的PMMA 通常分子量在数万至数十万之间，受电子束照射的区域PMMA 分子量将变成数百至数千，在显影时低分子量与高分子量PMMA 溶解度的对比非常大。
负阻剂方面，多半由聚合物的单体构成。在电子束曝照的过程中会产生聚合反应形成长链或交叉链结(crosslinking)聚合物，所产生的聚合物较不易被显影液溶解因而在显影后会留在基板表面形成微影图案。目前常用的负阻剂为化学倍增式阻剂(chemically amplified resist)，经电子束曝照后产生氢离子催化链结反应，具有高解析度、高感度，且抗蚀刻性高。
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