液态气体为淡蓝色液体。密度约0.9。沸点－192℃（101.3千帕，标准混合气，760毫米柱）。可用钢筒贮存和运输。广泛用作氧气的来源。将空气压缩，并冷却至低温，标准混合气公司，再使之膨胀而得。作用在准分子激光设备上激发激光的预混气体主要是氟气和氩气，以氖气为平衡气。采用别纯度的原料气体，采用自动化气体预混系统配制，标准混合气批发，有效降低人为因素影响。
准分子气体的运输车上发生火灾时。灭火困难时，要通知消防队等是“有毒气体 、“可燃气体”，并请求援助。选择气体的注意事项：考虑让辅助气体与金属材料产生化学反应，增加工作能力强度，更好进行加工；可以保护聚焦透镜，防止一些燃烧产物沾污光学镜片。准分子气体进样时需注意不泄露。大家都知道气体具有逃逸性，所以，准分子气体在进样的时候一定要注意先检查好容器和管线的气密性，确保进样的全程都不会发生泄露，以免降低气体的浓度而对样品数据的准确性造成不良影响。
准分子气体如何正确保存?正常情况下，除了不能有其他物品对其进行撞击之外，应该将准分子气体放在不会被阳光直接照射的地方，准分子气体的运输车无法转移时，应尽量与其它车辆拉开距离。接近火灾时，为了防止容器温度上升，要大量浇水。准分子气体的运输可燃性压缩气体300米3，或液化气体3000公斤以上；有毒的压缩气体1O0米3，或液化气体1000公斤以上时，要遵守以下规定；要有一名以上输运监视人押运。
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