氦质谱检漏仪主要技术指标：1. 小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率显围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦质谱检漏仪不会受到主观因素判断的影响；检测的数据；自动生成数据保存，可追溯数据来源。氦气检漏仪关键零部件集优采购，保证了系统的稳定性和可靠性；真空箱内氦气本底抑零，家电行业氦检漏厂商，保证了检漏的准确性、；
航天技术的不断发展， 泄漏问题已经成为航天产品设计制造中必须考虑的关键因素，越来越多的收到各方关注，相关电子元器件漏率检测已经引起科研人员的高度重视，目前应用检漏技术的主要是为密封继电器、集成电路外壳。.利用氢质谱检漏仪可以方便地对密封继电器作漏率测定。针对不同的产品，采用合适的检漏方法。目前密封继电器的漏率检测主要是GJB360A-96的112实验程序。
寻求一种合适的检漏方法，对汽轮机真空系统进行行之有效的检漏和堵漏工作，提高机组的真空严密性及真空已成为改善机组运行状况、节能降耗以及机组安全运行的一项重要工作。氦质谱检漏技术是一种 应用于国内外对真空容器检漏的技术，氦质谱检漏技术的高灵敏度和无损性早已成功地应用于航天、电子、制冷等领域。应用氦质谱检漏技术对火电厂汽轮机真空系统进行检漏的方法，近几年已在电力生产中逐渐推广应用。
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