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间接测量真空计 压力为10-1Pa时，作用在1cm2表面上力只有10-5N，显然测量这样小的力是困难的。但可根据低压下与气体压力有关的物理量的变化来间接测量压力的变化。

属于这类的真空计有：

(1)压缩式真空计：其原理是在U型管的基础上再应用波义耳定律，即将一定量待测压力的气体，经过等温压缩使之压力增加，以便用U型管真空计测量，然后用体积和压力的关系计算被测压力。Inficon真空计 维修保养厂家

(2)热传导真空计：利用低压下气体热传导与压力有关这一原理制成。常用的有电阻真空计和热偶真空计。

(3)热辐射真空计：利用低压下气体热辐射与压力有关原理。

(4)电离真空计：利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离，产生的离子流随电力变化的原理。如：热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放*性电离真空计等。

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按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。

氦质谱检漏背压法

背压法适用于那些行业？背压法主要用于检漏各种电子元器件。

采用背压法进行泄漏检测时，首先将被检测产品放入高压氦气室中，浸泡数小时或数天。如果被检测产品表面有漏孔，氦将通过漏孔压入被检测产品的内部密封腔，从而增加内部密封腔内的氦分压。然后取出被检测产品，将表面残留的氦气吹出，然后将被检测产品放入与检漏仪连接的真空容器中。被检测产品密封腔内的氦气将通过漏孔泄漏到真空容器，然后进入氦质谱检漏仪，以测量被检测产品的总泄漏率。检漏仪给出的泄漏率值为测量泄漏率，需要通过转换公式计算被检测产品的等效标准泄漏率。

背压法的优缺点

背压法的优点是检测灵敏度高，可实现小型密封容器产品的泄漏检测，可批量检测。

背压法的缺点是大型密封容器不能泄漏，否则由于密封腔体积过大，加压时间过长。此外，每个测量泄漏率对应两个等效标准泄漏率。仔细检查后，需要采用其他方法进行粗略检查，以消除大泄漏的可能性。

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广州潽拓光电科技有限公司——英福康分子泵维修价格氦质谱检漏仪维修服务

氮检漏设备日常保养?

●真空腔体、真空管道、真空阀门保证清洁干燥，定期清洁

●每天检查真空泵泵油位、泵油颜色是否正常，如果真空泵油变色或油位过低需及时更换.

●检漏仪需定期校准

●定期检查真空密封、高压密封接口是否老化并及时更换

●shou次检测，需要拿标准漏孔及漏件标定设备，标定通过后方可进行批量检测

真空法氦质谱检漏：

采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，英福康分子泵维修价格，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。氦质谱检漏仪的示踪气体选用氦气，是因为氦气具有以下优良特性：①氦气在空气中的含量少，体积含量为5。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。

常压吸*累积法（Sniffing test: Integral test at atmospheric pressure）

1）易于在线检测

2）无需抽真空

常压吸*累积法广泛应用于航空航天领域

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