大部分高纯氧气都是由空气分离制造的，即将空气液化后经精馏提纯。也可采用低温全精馏法。少量氧采用电解氧为原料，经催化拖氢可制取纯度为99.99以上的高纯氧。其他纯化方法有变压吸附法和膜分离法。高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四化碳混合，用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质；在冶金工业中有广泛应用。还可用于水质处理。二氧化碳常温下是一种无色无味、不可燃的气体，密度比空气大，高纯氧气，略溶于水，与水反应生成碳酸。
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