检漏技术在真空领域占有非常重要的地位，它关系到真空设备的各项真空指标，如何快速地找到漏点关系到企业的生产效率与经营成本。氦质谱检漏仪是第二次期间快速发展起来的一种高精度检漏仪，其灵.敏度高达10-15pa:m3/s。当今常见的氦质谱检漏仪灵敏度在10-9 ~10-13pa.m3/s。氦质谱检测技术以其灵敏度高、速度快、使用安全、适用范围广以及可以量化漏点的漏率等特点，在航空、航天、汽车和电力行业得到了广泛的应用，与其他诸多传统检漏方法相比，氦质谱检漏具有的技术性。采用氦质谱检漏技术，可以实现飞机机翼整体油箱渗漏点的快速定位检测与修补，保证机翼 翼盒的高质量、率装配。
主要检测范围包括下面一些设备 部件:凝汽器及相连的负压系统，包括凝汽器与汽侧相联设备管道，有二级旁路、三级诚温器、疏水扩容器、低加疏水、轴加疏水、空气管道、给水泵密封水回水、真空破坏门、水位计等;低压缸部分，包括低压排汽、末级抽汽管道和加热器部分，次末级抽汽管道和加热器部分，低压缸上方防爆膜及其结合面法兰、低压缸汽封以及接合面等:其他部分，家电行业氦检漏厂商，包括真空压力表头、排汽缸温度计套管、电接点水位计、疏水泵、凝结水泵机械密封等。
氦质谱检漏仪的检漏率应高于设备所允许漏率1-2个数量级。首先将设备稳固的置于明亮、透风良好的场所，连接好检漏用管路及压力表，应将压力表安装在测漏容器的顶部便于观察的位置。于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果，因此，测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。可先用氮气或其它惰性气体将设备压力提高， 然后用纯氦气或氦气混合气把测试设备的内压增加至测试压力且 应使设备内部至少含有10%-20%的氦气含量。
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