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分子泵是一种高速旋转的机械泵，因此对平衡的要求很高，普发分子泵控制器电机过热，普发Hipace80，
对固体异物非常脆弱，通常要在分子泵的入口处安装金属过滤网。
分子泵在工作过程中，如果压强突然恶化，则有可能损坏叶片。
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普发Pfeiffer Splitflow 310-3P分子泵常见故障：
抽速慢
卡死
电流偏大
噪音大
达不到全速运转
广州潽拓光电德国普发Pfeiffer Splitflow 310-3P分子泵维修
普发Pfeiffer Splitflow 310-3P分子泵维修照片：
Pfeiffer Splitflow 310-3P德国普发分子泵是用在氦质谱检漏仪设备上，Pfeiffer Splitflow 310-3P抽速可达到250 L/s，转速为60000rpm，德国普发Splitflow 310-3P分子泵对应的控制器为： Pfeiffer TC400。
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