
DLC沉积工艺的温度区间通常在150–350℃之间,带锯条镀膜服务,不同膜种对热稳定性要求不同。a-C:H可在较低温度下形成较厚膜层,带锯条镀膜服务价格,而ta-C通常需要更高能量和真空度,适用于耐热基材。气体组成如CH?、C?H?、Ar等的比例会影响氢含量和sp3/sp2结构,从而改变摩擦系数与耐磨性能。偏压越高,沉积能量越强,涂层致密度越大,但残余应力也相应提升,因此必须根据工件几何形状和应用工况平衡参数。

类金刚石薄膜(DLC薄膜),英文名Diamond Like Carbon,是一种由sp3和sp2杂化碳原子结合形成的非晶碳材料,含氢型结构中存在C-H键。其兼具金刚石的高硬度(≥60GPa)和石墨的润滑特性,同时具备低摩擦系数(0.06)、高化学稳定性及优异的光学性能。根据成分可分为无氢型(a-C、ta-C)和含氢型(a-C:H),后者可细分为类聚合物碳、类金刚石碳等。该薄膜主要通过物理气相沉积(磁控溅射、真空电弧)和化学气相沉积(等离子体增强CVD)制备,其中PECVD法因可控成为主流技术方向。
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