水润滑无油螺杆空压机是近年来的环保革新技术，它使用纯净水来代替传统的润滑油进行密封、冷却和润滑，压缩过程完全不会产生含油冷凝水，排出的气体洁净无任何污染，而且由于水的比热容远大于油，空压机生产，其压缩过程接近等温压缩效率更高，空压机供应，缺点是转子材料必须采用耐腐蚀的不锈钢或陶瓷，制造成本相对较高。
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空压机在半导体制造车间中必须在洁净室内运行，对压缩空气的纯净度要求达到，不仅要求无油无水和无颗粒，还要求去除空气中的化学污染物如硫化物和碳氢化合物，因为即使ppb级别的污染也会导致晶圆表面氧化或光刻胶失效，因此半导体空压机通常采用全无油设计，并配备催化氧化反应器和多级精密膜过滤器。
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在北方寒冷冬季启动空压机时需要特别注意润滑油低温粘度过高的问题，因为当环境温度低于零下10度时，空压机价格，普通矿物油的黏度会急剧增大流动性变得极差，如果直接带载启动会导致机头缺油干磨甚至烧毁，正确做法是先开启油加热器或者让电机点动几次进行油预热，待油温提升至5度以上再进入正常运行。
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