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广州潽拓光电科技有限公司

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广州潽拓光电科技有限公司从事高真空设备研制、生产、销售、工程安装及**维修服务于一体的综合性企业,由从事多年真空系统开发,真空设备技术研发,维修工程师,工程师组成的一支技术,充满活力的高素质团队。伴着严谨的内部项目实施管理,控制制流程,确保每一项真空设备的工艺技术保持更新和质量的优佳性、可靠性。主要......

普发分子泵控制器电机过热在线咨询

产品编号:100161942035                    更新时间:2026-06-30
价格: 来电议定
广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司

  • 主营业务:分子泵控制器,真空分子泵,AE电源,真空油泵,真空系统
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我司从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,医liao,太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等分子泵,真空泵,真空计维修保养/销售等业务。


广州潽拓——维修PFEIFFER DUO 3

双级旋片泵 DUO 2.5/DUO 3 工作原理

旋片式真空泵是油密封的旋转式排量泵。泵系统包括一个壳 体 (1)、一个偏心地

安装的转子 (2)、在离心力和弹力作用下 径向移动的叶片 (3) 以及入口和出口

(4)。入口阀(如配置)被设计为真空安全阀,该阀在操作过程中始终处于打开状 态。

工作室 (5) 位于壳体内,并受到定子、转子和叶片的限 制。偏心安装的转子和叶

片将工作室分为具有可变容积的两 个独立舱。当转子转动时,气体流入扩大的吸入

室直至其被 第二个叶片封住。封闭气体然后进行压缩,直到出口阀冲破 大气压力

而开启。出口阀是油封的。当阀打开时,少量的油进入吸入室,不仅能够对其进行

润 滑,而且能够将叶片与壳体(定子)密封开来。

旋片式真空泵的工作原理

在气镇操作的情况下,一个孔向外侧打开,让气体流入前侧 的密封吸入室。因此,

在压缩抽吸阶段,在相对低的压缩下 达到打开出口阀所需的压力。这使得蒸汽开始

冷凝前排出置 换的气体/蒸汽混合物。在操作过程使用气镇达到的终压力 高于无

气镇操作所达到的压力。

工作液、油

泵油,也称为工作液,在旋片式真空泵中泵油有多个任务要 执行。它润滑所有移动

部件,填充出口阀下的固定空间以及 缩小入口和出口之间的间隙。它压缩叶片和工

作室之间的间 隙,此外还通过热传递确保温度平衡。

多级泵

旋片式真空泵是内置的单级和两极版。二极泵比单级泵实现 相对更低的极限压力。

此外,气镇对极限压力的影响较低, 因为气镇仅允许在高压力级使用。

真空安全阀

根据所涉及的泵类型,旋片式真空泵可能配备真空安全阀。 真空安全阀在有意或意

外停顿的情况下将泵与真空室隔离, 并使用置换气体对泵系统进行排气,防止油液

上升到真空室 中。在开启泵后,一旦泵中的压力已达到真空室中的近似压 力,它

稍作延迟就打开。




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广州潽拓光电——出售 PFEIFFER SplitFlow 310 3P分子泵以及分子泵维修




真空泵设备换油知识:

    真空泵设备的换油,就真空泵设备在连续工作三月到半年之后,这时候应该要注意去进行换油一次,在湿度上比较大的地区,在潮湿季节工作的泵,或被抽气体污染很大的,就这一点来讲的话,就其在很大的程度上也就是要注意去根据具体情况逐情缩短换油时间。

真空泵设备在进行换油的时候,首先应该要注意把泵拆除真空系统,之后也应该把底盘电机一端垫高些,打开放油塞放油,转动着真空泵,捂住排气口,使腔内污油全部从放油口放出,再从进气口处加入新油100-500ML持续转动5-10转以上对于内部进行清洗,照此操作3-5次,特污油放清之后,再装上放油塞,把泵放平,从进气口及加油孔处分别加入新油,换油即告完毕。

真空泵设备在进行换油的时候不宜长久开动电机,这时候也就会使得排气阀片跳动过于剧烈和疲劳;真空泵设备的换油,也应该严禁用煤油,汽*,酒精等对泵作非拆卸的清洗;若是其停泵时间上比较长,应该要注意取下排气罩放上排气塞,封闭进气口,放净积水。


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