氦气是较轻的惰性气体，在喷出时会自动上升，为了准确找到漏孔位置喷氦，使用此方法时喷氦自上而下，由近至远（相对检漏仪的位置），这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入；质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。常用的传统气体管道检漏方法，如气泡法和肥皂法在化工厂等有害气体的管道检漏不实用，检测到微漏的氦质谱检漏仪成为了化工厂安全生产作业的保障。
氦质谱检漏仪主要技术指标：1. 小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率显围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦质谱检漏仪应用制冷行业：冰箱、空调、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。氦气检漏仪可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯，极大降低氦气损耗（功能可选）氦质谱检漏仪设备内芯制造借鉴国外技术，具有灵敏度高，反应快，开机时间短等特点，是一款液晶触摸彩屏显示的全自动氦质谱检漏仪。检漏仪高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。笔者根据实测经验，两次喷氦的较小间隔时间控制在30s左右，即如果次喷氦后30s内检漏仪还没有反应，则可进行第二次喷氦。
采用试验件对机翼整体油箱漏率进行摸索，整体油箱试验件检漏总体上分为两个部分: -是粗漏漏点检测与工艺修补;二是氦质谱细漏检测，粗漏检测过程涉及的主要设备有压缩空气气源、自动配气平台、控制阀等。试验时，首先接通压缩空气气源，启动整体油箱快速检漏设备，设定充气气压。充气过程结束后，稳压15min， 观测检漏设备上的压降曲线，确定是否存在粗漏。若压降明显，汽车行业检漏公司，说明有粗漏漏点存在。经肥皂泡方法确定粗漏漏点位置后，利用涂密封胶的方法对粗漏漏点进行工艺修补，重复检测修补后，至油箱试验件在规定时间内的压降符合技术要求后，可以进行氦质谱细漏检测。
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