




流量控制器
注意选择正确的工作压力指标
不同的产品工作压力指标可能不同,注意选择适合自己的产品。
质量流量控制器(MFC)除工作压力之外,还有另一项工作压力指标:工作压差,即MFC进气端和出气端之间的压差,选型时要注意,使用时也要注意。
注意选择合适的精度指标
准确度﹑线性﹑重复精度是比较重要的几项指标,其中重复精度在很多应用场合尤为重要。指标不一定追求高,应考虑自己的实际需要。
如果对厂家给出的指标不放心,手持式流量计报价,有条件的用户也可以自己标定一下。标定的方法参见下面的有关内容。

流量控制器
怎样选择流量显示单位?
我们的流量显示仪一般提供三种流量显示单位,即百分比﹑SCCM﹑SLM。出厂前根据用户的要求设定。按百分比显示的方式,即是将 MFM / MFC 的流量测量值按其占满量程的百分比来显示,例如,规格为50SCCM的MFM/MFC,当显示值为80%时,实际的流量为40SCCM。对任何一种规格的MFM/MFC,满量程值都显示为100%。这种方式通用性好,可配不同量程的MFM/MFC,手持式流量计哪家好,但不直观,有的用户不习惯。
按 SCCM或 SLM显示,出厂时对流量显示的范围与相应的MFM/MFC的量程进行匹配,使用时显示值即是流量值,很直观,符合习惯,为多数用户所采用。 匹配好后,原则上也能接其它量程的MFM/MFC使用,只是显示值需要修正。

流量控制器的主要优点是什么?
(1) 流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,手持式流量计哪里有,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计 / 质量流量控制器,则一般可以忽略不计。
(2) 测量控制的自动化
质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。通常, 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。
(3) 地定量控制流量
质量流量控制器可以地控制气体的给定量,手持式流量计,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
(4) 适用范围宽
有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,我们的产品流量范围可达0~5 sccm,流量范围可达0~200 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2~100% (量程比为-- 50:1), 因此在很多领域得到广泛应用。
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