安托万-洛朗·拉瓦锡（Antoine-Laurent Lavoisier）研究了此种气体，并正确解释了这种气体在燃烧中的作用。氧是地壳中较丰富、分布较广的元素，也是构成生物界与非生物界较重要的元素，在地壳的含量为48.6%。单质氧在大气中占20.9%。
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从严格意义上讲，发现氧元素的为瑞典化学家舍勒，冶金氧气厂报价，而确定氧元素化学性质的为法国化学家拉瓦锡。 在1608年，Cornelius Drebbel证明了加热硝石（xiao酸钾，KNO?）能释放气体。这就是氧气，然而并没有对它进行鉴定。
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膜分离技术得到迅速发展。利用这种技术，在一定压力下，让空气通过具有富集氧气功能的薄膜，可得到含氧量较高的富氧空气。利用这种膜进行多级分离，可以得到百分之九十以上氧气的富氧空气。
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